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「睿励科学仪器」斩获数亿元B轮融资，推动国产半导体量检测设备发展

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作者｜黄楠

编辑｜袁斯来

硬氪独家报道：

近日，睿励科学仪器(上海)有限公司（以下简称「睿励科学仪器」）成功完成数亿元B轮融资，由金石投资、招商致远领投，清控金信、河南资产、鼎青投资等资方跟投。此次融资将用于高精度光学量检测系列产品的研发和市场化推广，进一步丰富公司的产品矩阵，加速扩大生产，并加强市场拓展和品牌建设。

「睿励科学仪器」是一家专注于半导体前道工艺的量检测设备公司，拥有国家级高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”的资质，曾承担两个国家级“02专项”，具备全自主研发技术。团队成员多来自全球前两位量检测设备企业和国内知名光学技术公司，拥有18年的产品开发和市场应用经验。

在半导体行业中，量检测设备扮演着重要的角色，贯穿整个芯片制造工艺过程，主要用于工艺过程质量控制和保证产线良率。随着芯片结构的复杂性增加，光刻层数变多，每次光刻工艺循环都会带来多次量检测需求。近年来，随着国内半导体产业的快速发展和产业升级，对高端、精密的半导体设备需求不断增加，量检测设备市场潜力巨大。

然而，长期以来，全球半导体量检测设备市场主要由国外头部公司垄断，中国半导体量测设备多依赖进口，国产化率仅约5%，是半导体设备中除光刻机外最低的类别。目前，该领域正面临高端人才稀缺、技术壁垒高、量产难度大和核心零部件国外依赖度等多重挑战。

「睿励科学仪器」专注于光学技术，在高精度光学量测和检测领域持续耕耘，提出自研算法模式、独立设计的光学架构，成功打破国际厂商垄断，已在先进制程工艺节点率先完成了介质膜厚量测产品和明场缺陷图形检测产品的交付和大规模量产。产品成熟度高，量产性能可匹配国外同类设备水平，可靠性验证超过10年，在各类客户不同的生产工艺产线上都通过了大规模量产的验证。

目前，「睿励科学仪器」的客户涵盖了逻辑代工、3D闪存、动态存储器、先进封装等领域，广泛应用于300mm、200mm、150mmfab厂，出货量超过数百台。公司每年研发投入比高达40%，本次融资完成后，预计将吸引更多高端人才加入，持续保持高强度的产品研发投入。公司在上海浦东建有生产基地，年产能超过150台，满产后可支持15亿元的年产值。

投资方观点：

金石投资表示，睿励科学作为中国最早的一批量检测设备公司，吸引了国内外顶尖人才，坚持技术创新，聚焦光学技术。相信睿励科学将继续保持技术和产品领先，帮助先进制程实现国产替代的突破和发展。

招商致远表示，半导体量检测设备面临巨大的市场空间和国产替代机遇，也具有很高的壁垒。看好半导体量检测赛道，期待睿励科学凭借优秀的团队和多年的技术积累和量产经验，成为该细分赛道的领导者。

此次融资将助力「睿励科学仪器」在半导体量检测设备领域继续深耕，推动国产半导体量检测设备的发展，为国产半导体产业的崛起贡献力量。